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發(fā)表日期:2014-11-24 點(diǎn)擊次數(shù): 1058
綜述所述,我們大致可以了解到濺射離子泵是一種結(jié)構(gòu)簡單、使用便利的真空泵設(shè)備,它擁有離子泵的基本特點(diǎn),但是同時也弱點(diǎn),每種產(chǎn)品都存在多多少少的不足,但是相信隨著我國真空泵的發(fā)展,濺射離子泵也會隨著進(jìn)步。只要相關(guān)專業(yè)人士也業(yè)內(nèi)人士持續(xù)關(guān)注和不斷創(chuàng)新,濺射離子泵在真空泵界中會有屬于自己的輝煌明天。
濺射離子泵除了具有離子泵所具備的無油、超真空、無噪音等特點(diǎn),它的工作壓強(qiáng)可非常低,因此它可以可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、各種粒子加速裝置的真空設(shè)備中使用。但是濺射離子泵也存在不足,這些不足導(dǎo)致了濺射離子泵的使用受到一定的局限性。
接下來主要介紹濺射離子泵的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn):
濺射離子泵的優(yōu)點(diǎn):
1、濺射離子泵在工作過程中偶然暴露于大氣不會損壞,
2、結(jié)構(gòu)簡單,操作維護(hù)容易;
3、濺射離子泵無油污染,高真空時耗電量少,能安裝在容器的任何位置上;
濺射離子泵的缺點(diǎn):
1、濺射離子泵必須在10-2帕左右壓力下啟動,否則因離子流過大而使泵發(fā)熱;
2、離子泵泵體重裝后存在比較多不穩(wěn)定因素;
3、濺射離子泵長期使用會使吸氣劑鈦產(chǎn)生飽和, 使真空質(zhì)量變差;